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EUVリソグラフィ技術～レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状

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★次世代半導体露光技術と目されるEUVリソグラフィに特化した、当分野に参画するうえで必読の入門書！★EUVリソグラフィの概要・微細化の変遷にはじまり、レジスト材料・光源・露光装置技術およびマスクやぺリクルなどの各種構成の概要や技術的変遷について網羅的に解説！★Beyond EUVLの展望や、日本の半導体技術復活に向けて目指すべき半導体業界の将来像についても、第一人者が解説！表紙に擦れがあります。書き込み等はありません。

カテゴリー:	本・雑誌・漫画>>>本>>>その他
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